對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會(huì)有哪些好處（）？

下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。