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X射線熒光光譜儀的X射線分為兩種即原級X射線和次級X射線,一般說來,原級X射線的波長比次級的長。
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X射線熒光光譜儀和光電直讀光譜儀一樣,都是采用光柵作為分光元件。
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光電子出射時有可能再次激發(fā)出原子中的其他電子,產(chǎn)生新的光電子。再次生成的光電子被稱為俄歇電子,這一過程被稱之為俄歇效應(yīng)。
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