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X射線熒光光譜分析的試樣,可以是固態(tài),也可以是水溶液。試樣制備的情況對測定誤差無影響。
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波長大于0.2nm的X射線輻射會被空氣吸收,因此在此波長范圍測定時可以在試樣室和單色器通入連續(xù)氦氣或者在這些區(qū)域用泵抽真空。
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波長色散X射線熒光K系譜線相對強度在不同元素間變化范圍較大,測得的準確度也較高,而L和M譜線系的相對強度變化較小。
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