單項(xiàng)選擇題

激光干涉儀的最小分辯率為（）。

A.0.02um
B.0.05um
C.0.08um
D.0.1um

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單項(xiàng)選擇題

激光干涉儀的最大移動(dòng)速度為（）。

A.100mm/s
B.200mm/s
C.300mm/s
D.500mm/s

單項(xiàng)選擇題

激光干涉儀的測量精度為（）（L：被測量長度）

A.2×10-7L
B.5×10-7L
C.5×10-8L
D.3×10-8L