與電子探針相比，離子探針的分析深度更深。

電子探針中能譜儀和波譜儀均需長期置于低溫狀態(tài)。

衍襯運動學(xué)理論忽略動力學(xué)效應(yīng)，沒有考慮入射波與衍射波的相互作用。

質(zhì)厚襯度與散射物體不同部位的密度和厚度的差異無關(guān)。

TMA測試材料的尺寸變化，因此只能利用它表征材料尺寸。