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激光束、離子束、電子束均可對(duì)工件表面進(jìn)行改性。
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超精密加工包括了所有能使零件成形、位置和尺寸精度到微米和亞微米范圍的機(jī)械加工方法。
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超精密加工的支撐環(huán)境要求凈化的空氣環(huán)境、較好的抗震動(dòng)干擾環(huán)境、恒定的穩(wěn)定環(huán)境。
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