硅壓力傳感器失效的形式有()。 ①參數(shù)漂移; ②絕緣降低; ③膜片劈裂; ④電磁干擾; ⑤芯體滲漏。
A.②③④⑤ B.①③④⑤ C.①②③⑤ D.①②③④⑤
A.被測(cè)介質(zhì)的壓力不直接作用于傳感器的膜片上 B.被測(cè)介質(zhì)的壓力作用使得膜片產(chǎn)生微小位移 C.硅壓力傳感器實(shí)際影響的都是傳感器阻值的變化 D.壓力傳感器輸出的都是標(biāo)準(zhǔn)的電壓或電流信號(hào)
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