超精密磨削的關(guān)鍵在于砂輪的選擇、（）和高精度的磨削機(jī)床。

為了糾正絲杠加工過程中的彎曲變形，在絲杠加工工藝過程中常安排（）工藝。

超精密加工機(jī)床的精度質(zhì)量主要取決于機(jī)床的（）等部件。

床鞍移動相對主軸軸線的平行度屬于（）

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