問答題

【簡(jiǎn)答題】四個(gè)旋涂碗都不下料，怎么辦？

答案：

（1）檢查染料情況；
（2）檢查dye泵工作情況，有沒有壓縮空氣，是否關(guān)閉dye泵；
（3）檢查dye泵膜片是否破損。
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【簡(jiǎn)答題】旋涂不下料應(yīng)查看什么？
答案： 查是否有染料，針頭是否堵，驅(qū)動(dòng)器信號(hào)。
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【簡(jiǎn)答題】Pick6在檢測(cè)儀上不取片怎么辦？
答案： 用盤片感測(cè)一下傳感器信號(hào)（關(guān)掉PLC重新開啟做初始化）。
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