問答題

【簡答題】6.0線在存儲旋涂參數(shù)時應(yīng)注意什么？

答案： 應(yīng)該將旋涂自動運行和整機運行按鈕按起，以避免丟失程序和pick3報警。
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【簡答題】白片厚度差如何調(diào)整？
答案： （1）用檢測儀測量白片厚度差；
（2）若需要調(diào)整在白片上作好標(biāo)記，用反射率測出的白片的薄厚分布情況，做好記錄；...
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【簡答題】偏心超過20怎么辦？
答案： 首先要分析原因，是否是母盤的原因；其次找工藝工程師調(diào)整；最后找設(shè)備工程師調(diào)整模具。
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