單項(xiàng)選擇題

利用高溫驅(qū)動(dòng)雜質(zhì)滲透進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi)，此工序采用的設(shè)備是（）

A.擴(kuò)散爐
B.離子注入機(jī)
C.加熱平板
D.對(duì)流烘箱

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