問答題

【簡答題】微電子器件對接觸和互連有什么要求？獲得良好歐姆接觸的方法有哪幾種？

答案： 對接觸和互連有的基本要求有：
1）能形成良好的歐姆接觸；
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外延
答案： 一種在單晶或多晶襯底上生長一層單晶或多晶薄膜的技術(shù)。
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恒定源擴(kuò)散
答案： 在擴(kuò)散過程中，硅片表面的雜質(zhì)濃度Ns始終保持不變。例如，基區(qū)、發(fā)射區(qū)的預(yù)淀積，箱法擴(kuò)散。
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