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填空題

化學氣相沉積與物理氣相沉積最根本的區(qū)別是在沉積前是否發(fā)生了（）。

答案：化學反應

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晶體缺陷的存在對（）會產生明顯的影響。

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（）主要是沉淀相、晶粒內的氣孔和第二相夾雜物等。

答案：體缺陷

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