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半導(dǎo)體應(yīng)變片以硅或鍺等材料制成,熱穩(wěn)定性好,測量誤差較小。
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壓阻式壓力變送器利用集成電路工藝直接在單晶硅膜片上按一定晶向制成擴散壓敏電阻,當單晶硅膜片受壓時,膜片的變形將使擴散電阻的阻值發(fā)生變化。
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壓力傳感器能檢測溫度并轉(zhuǎn)換成電信號輸出。
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