A.腐前必須先抽腐500片到1000片晶片,然后送外觀檢驗(yàn),合格后方可腐蝕,玻璃條否全部挑出 B.抽測晶片來料頻率,并在腐前電子檔里記錄頻率數(shù)據(jù) C.晶片表面干凈與否將直接影響晶片腐蝕后的外觀 D.測試腐蝕前頻率是為了準(zhǔn)確的計(jì)算腐蝕時間并檢查頻散情況
A.腐蝕機(jī)是否正常、腐蝕籃是否損壞 B.腐蝕機(jī)溫度是否在68±2℃C.腐蝕機(jī)內(nèi)腐蝕液是否飽和 D.腐蝕液面是否有漂浮物質(zhì) E.排氣系統(tǒng)是否正常 F.檢查超聲波腐蝕籃、脫水機(jī)、燒杯是否干凈 G.更換氟化氫銨溶液
A.檢查隨工單內(nèi)容是否清晰 B.待腐蝕的片數(shù)量、標(biāo)識、頻率是否與隨工單是否一致 C.工藝流程是否正確 D.排氣系統(tǒng)是否正常