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問答題
【簡答題】集成電路特別是邏輯集成電路技術(shù)的類型有哪些？
答案：
以雙極性硅為基礎(chǔ)的ECL技術(shù)、PMOS技術(shù)、NMOS技術(shù)，雙極性硅或硅鍺異質(zhì)結(jié)晶體管加CMOS的BiCMOS技術(shù)和GaA...
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問答題
【簡答題】說明用硅材料采用CMOS工藝可形成哪些元件、電路形式以及可達(dá)到的電路規(guī)模？
答案：
可形成D、N/P-MOS、R、C、L元件、可以形成CMOS或SCL電路形式、可達(dá)到ULSI和GSI的電路規(guī)模
問答題
【簡答題】離子注入法有哪些優(yōu)點？
答案：
摻雜的過程可通過調(diào)整雜質(zhì)劑量及能量來精確控制雜質(zhì)分布，可進(jìn)行小劑量和極小深度的摻雜較低的工藝溫度，故光刻膠可用作掩膜可供...
