微型機(jī)電系統(tǒng)（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS）是指集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理、控制電路、接口、通訊和電源等于一體的（）或綜合體。

從材料增減的角度，材料成形制造可分為增材制造和減材制造。（）

超硬微粉砂輪超精密磨削的機(jī)理與超精密磨削的機(jī)理完全不同。（）

石墨烯是碳原子緊密排列成六方蜂巢狀、只有一個(gè)（）厚度的二維納米材料。

以下選項(xiàng)中不屬于微型裝置和系統(tǒng)（功能部件）的是（）。