(1)霧化效果 (2)洗滌液的氟硅酸濃度 (3)洗滌液溫度 (4)堵塞情況 (5)故障
(1)、稀酸加入量過大 (2)、蒸發(fā)室溫度低 (3)、蒸發(fā)室真空度低 (4)、洗液或其他介質進入濃磷酸中