判斷題微電子芯片材料主要包括結(jié)構(gòu)功能材料和工藝性能,前者加工過程必需使用,后者經(jīng)加工處理后永久保留在IC芯片結(jié)構(gòu)中,但最后完全去除的重要輔助材料。

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