高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進光刻機上，那么i線的UV光波長為（）

根據(jù)曝光模式，光制機的種類分為（）。

調(diào)試和維修電路時排除故障的一般程序和方法是怎樣的？

當需要刻蝕的圖形尺寸大于3um時，一般使用（）。

最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

回態(tài)源擴散的雜質(zhì)源有（）

試說明ICT測試電阻器阻值的原理？為什么要加隔離點？

以下是離子注入過程中的主要參數(shù)的是（）

以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）

光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。