電子束蒸發(fā)中有一個(gè)特殊的部件是（）

光刻膠對(duì)人部分可見(jiàn)光敏感，但對(duì)（）光不敏感。

說(shuō)明功能檢測(cè)工裝的制作原理？

下列哪些是進(jìn)行光刻前的預(yù)處理的步驟？（）

鋁的電遷移可能導(dǎo)致的結(jié)果是（）

解決金屬鋁與襯底之間肖特基接觸的方法有（）。

根據(jù)曝光模式，光制機(jī)的種類(lèi)分為（）。

回態(tài)源擴(kuò)散的雜質(zhì)源有（）

通過(guò)分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來(lái)判斷是否達(dá)到終點(diǎn)的終點(diǎn)檢測(cè)方法是（）

堅(jiān)膜烘焙在加熱平板上進(jìn)行，溫度控制在（）。