金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）

敘述測(cè)試晶體管的方法？

最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

以下是離子注入過程中的主要參數(shù)的是（）

說明功能檢測(cè)工裝的制作原理？

堅(jiān)膜烘焙在加熱平板上進(jìn)行，溫度控制在（）。

分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在檢驗(yàn)時(shí)發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時(shí)，判斷其造成原因有（）

回態(tài)源擴(kuò)散的雜質(zhì)源有（）

一般情況下，刻蝕完成后需要進(jìn)行的操作是（）

環(huán)境溫度的變化可影響硅片的涂膠均勻性，通常將環(huán)境溫度設(shè)定于（）。