問答題試總結(jié)電子元器件大致分為幾代;對(duì)電子元器件的主要要求是什么?

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5.多項(xiàng)選擇題微電子領(lǐng)域內(nèi),下列測(cè)厚儀中屬于有臺(tái)階的測(cè)厚儀為()。

A.臺(tái)階儀
B.干涉顯微鏡
C.光切顯微鏡
D.掃描電鏡
E.橢偏儀