以大于或等于被考慮的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。
指利用等離子體激活的化學反應或者利用高能粒子束轟擊完成除去物質的方法。
通過使用特定的溶液與需要被腐蝕的薄膜材料進行化學反應，進而除去沒有被光刻膠覆蓋區(qū)域的薄膜。
