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名詞解釋保形覆蓋

所有圖形上淀積的薄膜厚度相同；也稱共性覆蓋。

1.名詞解釋PECVD（等離子增強(qiáng)CVD）

RF激活氣體分子（等離子體），使其在低溫（室溫）下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，淀積成膜。

2.名詞解釋LPCVD（低壓CVD）

在27-270Pa壓力下進(jìn)行化學(xué)氣相淀積。

3.名詞解釋APCVD（常壓CVD）

氣相淀積在1個(gè)大氣壓下進(jìn)行。

4.名詞解釋化學(xué)氣相淀積

一種或數(shù)種物質(zhì)的氣體，以某種方式激活后，在襯底發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并淀積出所需固體薄膜的生長技術(shù)。

5.名詞解釋濺射

利用帶有電荷的離子在電場中加速后具有一定動能的特點(diǎn)，將離子引向欲被濺射的靶電極。

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