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柵氧化層電容
答案:
氧化層介電常數(shù)與氧化層厚度之比,表示的是單位面積的電容,記為Cox。
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臨界反型
答案:
當(dāng)柵壓接近或等于閾值電壓時(shí)空間電荷寬度的微弱改變,并且反型層電荷密度等于摻雜濃度時(shí)的情形。
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金屬-半導(dǎo)體功函數(shù)差
答案:
金屬功函數(shù)和電子親合能之差的函數(shù),用φms表示。
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