問(wèn)答題描述等離子體刻蝕和干法去膠的原理
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1.問(wèn)答題描述并比較接觸式光刻、接近式、投影式、步進(jìn)式和電子束光刻。
4.問(wèn)答題列出光刻工藝的十個(gè)步驟,并簡(jiǎn)述每一步的目的。
5.問(wèn)答題光刻技術(shù)的圖形轉(zhuǎn)移分為哪兩個(gè)階段?
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