填空題

注入離子的射程主要由（）決定。確定注入離子分布的主要參數(shù)是（）及其（）。注入離子分布的一級近似為（）?？蓪懗桑?img src="https://newimg.ppkao.com/2019-07/wangjing/2019070410290232389.jpg" />

答案： 離子能量、離子種類和襯底材料；平均投影射程；標準偏差；高斯分布
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