問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述離子注入的原理?

答案: 離子注入是離子被強(qiáng)電場(chǎng)加速后注入靶中,離子受靶原子阻止,停留其中,經(jīng)退火后雜質(zhì)進(jìn)入替位、電離成為具有電活性的雜質(zhì)。這一過(guò)...
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答案:

①晶體內(nèi)雜質(zhì)濃度梯度;
②環(huán)境溫度;
③雜質(zhì)本身結(jié)構(gòu)、性質(zhì);
④晶體襯底的結(jié)構(gòu)。

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