判斷題熒光射線的能量較低(小于50eV),產(chǎn)生范圍?。▋H在試樣表面10nm層內(nèi)產(chǎn)生);產(chǎn)率與試樣的表面形狀密切相關(guān),對試樣的表面狀態(tài)非常敏感,能很好地反映試樣的表面形貌。

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