單項選擇題TQCS的核心是（）。
A.短時間time
B.高質(zhì)量quality
C.低成本cost
D.好服務(wù)service
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1.單項選擇題LIGA技術(shù)使用的X光波長在（）nm之間，可以得到大深寬比的精細(xì)結(jié)構(gòu)。
A.0.05～0.1
B.0.1～0.2
C.0.2～1
D.1～5
2.單項選擇題光刻電鑄的最大加工厚度為（）μm。
A.300
B.400
C.500
D.600
