(1)基于流程圖的開發(fā)工具;(2)基于時間軸的創(chuàng)作工具;(3)基于書頁的創(chuàng)作工具。
(1)預(yù)處理;(2)光刻;(3)化學處理;(4)制作父盤和母盤;(5)壓模。