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【簡答題】低壓化學氣相淀積與常壓化學氣相淀積法相比,優(yōu)點有?
答案:
①晶體生長或成膜的質量好;②淀積溫度低,便于控制;③可使淀積襯底的表面積擴大,提高淀積效率。
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答案:
機械阱、冷凝阱、熱電阱、離子阱、吸附阱等。其作用是減少油蒸氣、水蒸氣、汞蒸氣及其它腐蝕性氣體對系統(tǒng)的影響,也用于物質的分...
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答案:
真空泵、真空測量裝置和按照具體實驗的要求而設計的管路和儀器。旋塞是在真空系統(tǒng)中調節(jié)氣體流量和切段氣流通路的原件,必不可少...
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