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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】根據(jù)成像結(jié)果的不同，光刻膠可分為哪兩種類(lèi)型，其中哪種成本較低且應(yīng)用較早？
答案：
正光刻膠和負(fù)光刻膠；負(fù)光刻膠。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】顯影時(shí)，正膠和負(fù)膠的哪個(gè)區(qū)發(fā)生溶解？而哪個(gè)區(qū)則不會(huì)溶解。
答案：
正膠的曝光區(qū)和負(fù)膠的非曝光區(qū)的光刻膠在顯影液中溶解，而正膠的非曝光區(qū)和負(fù)膠的曝光區(qū)的光刻膠則不會(huì)在顯影液中溶解（或很少溶...
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是CVD中的氣缺現(xiàn)象？解決氣缺現(xiàn)象的措施？
答案：
1）氣缺現(xiàn)象：一個(gè)入氣口的反應(yīng)室，沿氣流方向反應(yīng)劑不斷消耗，濃度降低，因此膜厚不均。當(dāng)氣體反應(yīng)劑被消耗而出現(xiàn)的反應(yīng)劑濃度...
