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問答題
【簡答題】
簡述臺(tái)階覆蓋與接觸孔口。
答案：
準(zhǔn)直濺射技術(shù)是在高真空濺射時(shí)，在襯底正上方插入一塊有高縱橫比孔的平板，稱為準(zhǔn)直器。濺射原子的平均自由程足夠長，則在準(zhǔn)直器...
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問答題
【簡答題】氣體直流輝光放電分為哪幾個(gè)區(qū)？其中輝光放電區(qū)包括哪幾個(gè)區(qū)？濺射區(qū)域選擇在哪個(gè)區(qū)？
答案：
分為暗流區(qū)，湯生放電區(qū)，輝光放電區(qū)，電弧放電區(qū)。
輝光放電區(qū)分為
c-d：前期輝光放電區(qū)
...
輝光放電區(qū)分為
c-d：前期輝光放電區(qū)
...
