A、HVPS→電子裝置電源→水泵電源→真空泵電源→主電源→計算機; B、主電源→電子裝置電源→水泵電源→真空泵電源→HVPS→計算機; C、計算機→HVPS→電子裝置電源→水泵電源→真空泵電源→主電源; D、HVPS→主電源→水泵電源→電子裝置電源→真空泵電源→計算機;
A、Read instrumentstatus B、Status Reporter C、Intrgrated Profile D、Reset Instrument
A、Fe273.04nm B、N149.21nm C、Fe187.63nm D、無