名詞解釋

答案：同時引入兩種原子半徑不同的雜質(zhì)原子，使他們產(chǎn)生的應(yīng)變正好相反。應(yīng)力得到補償，減少或避免晶格畸變，消除失配位錯-應(yīng)力補償法...

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答案：雜質(zhì)從襯底及基座中蒸發(fā)出來進入氣相中繼而再次摻入外延層中，也包括由于襯底基座被腐蝕而進入氣相中進而摻入外延層中。