是指脈沖的寬度按正弦規(guī)律變化而和正弦波等效的PWM波形。
控制技術就是對脈沖的寬度進行調制的技術,即通過對一系列脈沖的寬度進行調制,來等效的獲得所需要的波形(含形狀和幅值)。
直接檢測工作臺的位移來控制系統(tǒng)。