問答題

【簡答題】什么是外延層？為什么硅片上要使用外延層？

答案： 外延層是指在硅的外延中以硅基片為籽晶生長一薄膜層，新的外延層會復(fù)制硅片的晶體結(jié)構(gòu)，并且結(jié)構(gòu)比原硅片更加規(guī)則。外延為器件設(shè)...
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【簡答題】將圓柱形的單晶硅錠制備成硅片需要哪些工藝流程？
答案： 整形處理，切片，磨片和倒角，刻蝕，拋光，清洗，硅片評估，包裝。
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【簡答題】例舉得到半導(dǎo)體級硅的三個步驟。半導(dǎo)體級硅的純度能達到多少？
答案： 第一步：用碳加熱硅石來制備冶金級硅
第二步：通過化學(xué)反應(yīng)將冶金級硅提純以生成三氯硅烷
第三步：利用西...
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