A.吸附B.表面馳豫C.燒結(jié)D.表面重構(gòu)
A.等離子體刻蝕B.等離子體檢測C.等離子體化學(xué)氣相沉積D.濺射成膜
A.電離、復(fù)合B.附著、離脫C.碰撞、激發(fā)D.擴(kuò)散、遷移