多項(xiàng)選擇題

關(guān)于超精密加工說法正確的是（）。

A.指加工精度高于0.01um
B.超精密加工是微米工藝
C.表面粗糙度在Ra0.03-0.005um
D.加工精度達(dá)到極高程度的精密加工工藝
E.表面質(zhì)量達(dá)到極高程度的精密加工工藝

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