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二元光學
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基于波面衍射原理,利用計算機輔助設計和超大規(guī)模集成(VLSI)電路制作工藝,在基于刻蝕產生兩個或多個臺階深度的浮點結構,...
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用大規(guī)模的集成電路的光刻技術加工而成的二元化器件。
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二元掩膜
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通過對掩膜片基上的感光膠片進行有控制的曝光和顯影獲得
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