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填空題

為了保持優(yōu)良的結(jié)晶性能，提高制膜速度，除了要采用（）；（）投入外，多數(shù)也采用導(dǎo)入電源頻率為60MHz---100MHz的VHF帶等離子體的CVD法。

答案：高電壓、高電力

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在a-Si：H太陽(yáng)能電池中，此低光吸收和（），可以作為電極或者窗口一側(cè)的結(jié)合層來(lái)利用。

答案：高光導(dǎo)電率

產(chǎn)生等離子體的電力條件是（），無(wú)線電頻率可從射頻到VHF、微波范圍內(nèi)多種多樣的頻率，但目前射頻等離子體CVD最普及。

答案：直流

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