消除鳥嘴效應的方法有（）。

厚膜電阻的成分，一是導體顆粒，二是（）。

刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結合來實現圖形的轉移？（）

注入損傷與注入離子的以下哪個參數無關？（）

化學機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）

碳納米管場效應晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

鳥嘴效應造成的不良影響有（）。

光刻工藝的設備核心是（）。

進行光刻工藝前的清洗步驟是（）。

如下哪個選項不是半導體器件制備過程中的主要污染物？（）