多項(xiàng)選擇題

微電子領(lǐng)域內(nèi),下列測(cè)厚儀中屬于有臺(tái)階的測(cè)厚儀為()。

A.臺(tái)階儀
B.干涉顯微鏡
C.光切顯微鏡
D.掃描電鏡
E.橢偏儀

微信掃碼免費(fèi)搜題