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單項選擇題

危害半導(dǎo)體工藝的典型金屬雜質(zhì)是（）。

A.2族金屬
B.堿金屬
C.合金金屬
D.稀有金屬

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單項選擇題

懸浮在空氣中的顆粒稱為（）。

A.懸浮物
B.塵埃
C.污染顆粒
D.浮質(zhì)

單項選擇題

沾污引起的電學(xué)缺陷引起（），硅片上的管芯報廢以及很高的芯片制造成本。

A.不會影響成品率
B.晶圓缺陷
C.成品率損失
D.晶圓損失

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