多項(xiàng)選擇題

沾污是指半導(dǎo)體制造過(guò)程中引入半導(dǎo)體硅片的任何危害微芯片（）的不希望有的物質(zhì)。

A.功能
B.成品率
C.物理性能
D.電學(xué)性能
E.外觀

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