單項(xiàng)選擇題

在半導(dǎo)體器件制造中，對(duì)清洗用水的純度有比較高的要求，要用經(jīng)過(guò)純化的（）作為清潔用水。

A.蒸餾水
B.自來(lái)水
C.去離子水
D.礦泉水

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