單項(xiàng)選擇題

為了防止抽氣設(shè)備對(duì)離子注入系統(tǒng)的油污染,可在靶室前增加一個(gè)()或采用無(wú)油泵。

A.液氮冷阱
B.凈化阱
C.抽氣阱
D.無(wú)氣泵

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