單項選擇題通常熱擴散分為兩個大步驟，其中第一個步驟是（）。
A.再分布
B.等表面濃度擴散
C.預淀積
D.等總摻雜劑量擴散
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1.單項選擇題下列哪些元素在硅中是快擴散元素：（）。
A.Na
B.B
C.P
D.As
2.單項選擇題He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的擴散率大于10－13cm2/s，這些元素稱為（）。
A.活躍雜質
B.快速擴散雜質
C.有害雜質
D.擴散雜質
3.單項選擇題如果磷在二氧化硅中擴散，對擴散率影響最大的因素是：（）。
A.擴散劑總量
B.壓強
C.溫度
D.濃度
4.單項選擇題用電容－電壓技術來測量擴散剖面分布是用了（）的原理。
A.pn結理論
B.歐姆定律
C.庫侖定律
D.四探針技術
5.單項選擇題在確定擴散率的實驗中，擴散層電阻的測量可以用（）測量。
A.SIMS技術
B.擴展電阻技術
C.微分電導率技術
D.四探針技術
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